瑞士VAT真空部件 334347

1. 產(chǎn)品身份確認(rèn)

• 原廠零件號(hào)：334347

• 所屬系列：VAT真空閥門密封組件

• 適用機(jī)型：

• VAT 59000系列高真空角閥

• VAT 47000系列閘板閥

2. 核心參數(shù)

3. 結(jié)構(gòu)特征

• 復(fù)合式設(shè)計(jì)：

• 主密封唇：雙道FFKM密封邊緣

• 支撐骨架：不銹鋼316L內(nèi)嵌環(huán)

• 抗擠壓設(shè)計(jì)：

• 截面優(yōu)化結(jié)構(gòu)（承壓能力提升30%）

4. 兼容閥門型號(hào)

5. 安裝規(guī)范

• 表面處理：

• 法蘭密封面粗糙度Ra≤0.8μm

• 需用無(wú)絨布+異丙醇清潔

• 安裝扭矩：

  法蘭類型	推薦扭矩
  ISO-KF63	15~18 Nm
  CF63	30~35 Nm

6. 性能驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)

1. 氦質(zhì)譜檢漏：

• 測(cè)試壓力：1×10?? mbar

• 允許泄漏率：≤1×10?? mbar·L/s

2. 老化測(cè)試：

• 250℃烘烤72小時(shí)后壓縮變形≤20%

7. 替代方案對(duì)比

8. 維護(hù)與壽命

該密封件需配合 VAT專用真空脂（P/N: 334500） 使用。對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備，建議每12個(gè)月預(yù)防性更換，并保留舊件進(jìn)行失效分析。批量訂單（≥50件）可申請(qǐng)15%年度協(xié)議折扣。

瑞士VAT真空部件 334347